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        外延设备 外延技术  |  外延工艺  |  外延产品  |  外延设备
          外延炉一览
                 ? 筒式外延炉MT7700、MT7811K
                 ? RF平板式外延炉
                 ? 单片式外延炉
                 ? LPE3061&LPE2061 外延炉 

         MT系列外延炉性能   单片式外延炉性能  RF平板式外延炉性能
             ? 良好的表面质量和无滑移线
             ? 炉内厚度均匀性±5%
             ? 炉内电阻均匀性±5%
             ? 过渡区窄
             ? 减压外延
            ? 良好的厚度和电阻率均匀性
            ? 超强的加工能力
            ? 薄外延加工能力
            ? 8英寸外延片加工能力
            ? 高产出
            ? 过渡区窄
            ? 良好的厚度和电阻率均匀性
            ? 大尺寸和双腔体设计
            ? 厚外延加工能力
         外延设备一览    


        MT Barrel


        LPE 2061


        CSD 


        G2 

         
        LPE 3061


        ASM E2000


         外延测试设备

        • 公司具有一套完备先进的外延表征设备,以确保外延片的质量达到客户的要求。  
            


        MCV530


        SSM495Hg-Probe CV System


        CDE 4-Point Probe


        Surface scan SP1


        QS2200M Accent FTIR


        ADE 9300


        SSM SRP 2000


        Agilent ICP MS7500CS


        OLYMPUS MX50

          
           外延辅助设备
        日产130吨的超纯水系统。所产纯水电阻率达18.2MΩ,颗粒度和TOC含量极低,达到 国内领先水平。
        美国Verteq公司的清洗设备。结合了超稀化学溶液和先进的兆声清洗技术,可高效 去除晶片表面的颗粒、痕量金属和有
        新傲科技采用SIMOX,BONDING,SIMBOND和Smart-Cut四种方法,利用从美国和日本知名设备制造 商进口的先进设备来制备SOI材料, 以确保新傲圆片能够达到国际半导体标准, 并能够满足当今世界主流IC生产线的要求。 依靠美国MT公司强大而持续的技术支持,整合国产化衬底片良好的性价比以及以及新傲自身强大而灵活的加工能力优势,新傲向客户提供专业化得外延服务。
        地址:中国上海市嘉定区新徕路200号    电话:+86-21-6952 2599    传真:+86-21-6952 2221   邮编:201815    网址:www.www.shpetexpo.com   沪ICP备05048132号-1
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